★★★★☆ 半導体工場を訪れる事前予習として読了。 前工程、後工程に加えて工場内の各プラントに至るまで解説されており、タイトルに偽りなしの内容でした。本書のおかげで工程の全体像から詳細までスムーズな理解に役立てることができました。 改めて、半導体工場とは塵の混入を防ぐクリーンルーム管理、高精度加工、優れた搬送システム、化学プラント、工場内電力設備など多岐に渡る機能を統合したモノ作りの集大成だと感じた。

★★★★☆ 半導体工場を訪れる事前予習として読了。 前工程、後工程に加えて工場内の各プラントに至るまで解説されており、タイトルに偽りなしの内容でした。本書のおかげで工程の全体像から詳細までスムーズな理解に役立てることができました。 改めて、半導体工場とは塵の混入を防ぐクリーンルーム管理、高精度加工、優れた搬送システム、化学プラント、工場内電力設備など多岐に渡る機能を統合したモノ作りの集大成だと感じた。